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超純水制備與回用技術(shù)雙賦能，高頻科技成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)價(jià)值伙伴

2026-01-14 10:16:14 來源：今日熱點(diǎn)網(wǎng)

隨著半導(dǎo)體制造進(jìn)入高精度、高集成度時(shí)代，超純水的水質(zhì)純度與水資源利用效率成為影響芯片良率、控制生產(chǎn)成本的關(guān)鍵因素。作為聚焦于芯片制造等電子核心產(chǎn)業(yè)的超純水系統(tǒng)供應(yīng)商，高頻科技憑借二十余年技術(shù)積淀，致力于為半導(dǎo)體高端制造等行業(yè)客戶，提供領(lǐng)先的超純水與循環(huán)使用解決方案及裝備，助力客戶在提升良率的同時(shí)實(shí)現(xiàn)降本增效。

超純水：芯片良率提升的“隱形工藝伙伴”

在半導(dǎo)體行業(yè)，良率是關(guān)乎企業(yè)成本、可靠性與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的核心指標(biāo)，而超純水正是影響良率的關(guān)鍵要素之一。芯片生產(chǎn)過程中的清洗、蝕刻、拋光等環(huán)節(jié)都依賴超純水，水中任何微量污染物都可能導(dǎo)致晶圓缺陷，進(jìn)而影響芯片性能與成品率。

因此，半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)超純水的水質(zhì)要求極為嚴(yán)格，主要指標(biāo)包括：電阻率≥18.24MΩ·cm（25℃）、總有機(jī)碳＜0.5μg/L、溶解氧＜1μg/L、微粒（＞0.05μm）＜100個(gè)/L，以及細(xì)菌＜1/100mL、總硅含量＜0.5μg/L，溶解硅含量＜0.3μg/L升，硼含量＜0.005μg/L等。

高頻科技通過整合物理、化學(xué)、流體等多學(xué)科工藝，并依托多介質(zhì)過濾、活性炭吸附、離子交換、反滲透膜、紫外線殺菌、紫外線TOC去除、電滲析、超濾、納濾、真空脫氣塔、膜脫氣等超純工藝技術(shù)，系統(tǒng)去除各類污染物，制備出純度達(dá)ppt級(jí)別、離子含量僅為萬億分之一的超純水，以穩(wěn)定可靠的高標(biāo)準(zhǔn)水質(zhì)，持續(xù)支持客戶提升芯片良率與制造競(jìng)爭(zhēng)力。

高效回用技術(shù)：解鎖成本控制“新密碼”

半導(dǎo)體制造屬于高耗水行業(yè)，水資源成本與廢水處理壓力是企業(yè)持續(xù)面臨的運(yùn)營挑戰(zhàn)。高頻科技通過電子級(jí)廢水處理與回用技術(shù)，為企業(yè)降本增效提供系統(tǒng)性解決方案。

高頻科技針對(duì)不同雜質(zhì)特性的廢水，定制高效經(jīng)濟(jì)的處理工藝，并結(jié)合前瞻性的水系統(tǒng)規(guī)劃能力，對(duì)晶圓制造中產(chǎn)生的30余道廢水——如純水濃水、低濃度氫氟酸廢水、研磨廢水、酸堿廢水等進(jìn)行精細(xì)化分流與回用，最終實(shí)現(xiàn)整廠用水的制備回收率高達(dá)90%，在顯著降低水耗與排放成本的同時(shí)，助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)環(huán)保與經(jīng)濟(jì)效益的同步提升。

高效供應(yīng)與專業(yè)服務(wù)：為半導(dǎo)體生產(chǎn)穩(wěn)定護(hù)航

高頻科技不僅是國內(nèi)最早從事芯片領(lǐng)域超純水系統(tǒng)業(yè)務(wù)的企業(yè)之一，更是國內(nèi)首家具備12英寸14nm芯片產(chǎn)線超純水制備能力的系統(tǒng)供應(yīng)商。在提供先進(jìn)超純水與回用水技術(shù)的基礎(chǔ)上，企業(yè)以可靠的交付能力與全周期服務(wù)體系，持續(xù)保障半導(dǎo)體客戶生產(chǎn)線的穩(wěn)定運(yùn)行與效率提升，贏得了行業(yè)的廣泛認(rèn)可與信賴。

基于此，高頻科技將持續(xù)聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)核心需求，深化超純水制備與回用水循環(huán)技術(shù)的創(chuàng)新與應(yīng)用，不斷推動(dòng)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)與資源效率邁向新高度，從而有效支持半導(dǎo)體企業(yè)在提升產(chǎn)品良率與優(yōu)化運(yùn)營成本方面實(shí)現(xiàn)持續(xù)突破，為產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展筑牢基石。

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